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肯富來真空泵的種類及其工作范圍知識
肯富來真空泵的種類及其工作范圍知識
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真空泵 |
工作范圍(托) |
真空泵 |
工作范圍(托) |
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旋片真空泵 |
760~5×10-4 |
往復真空泵 |
760~10-2 |
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滑閥真空泵 |
760~5×10-3 |
吸附泵 |
760~10-4 |
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油增壓泵 |
10-1~10-4 |
濺射離子泵 |
10-4~10-10 |
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羅茨真空泵 |
10-1~10-4 |
鈦升華泵 |
10-3~10-10 |
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油擴散泵 |
10-3~5×10-7 |
分子泵 |
10-3~10-10 |
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760~25 |
低溫泵 |
10-3~10-10 |
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